FFU及干冷盘管的选择及其应用

　　FFU(风机过滤器单元)

　　FFU是近年普通应用在单向流和混合流中的重要净化设备。它是有标准模数尺寸（1200x600mm，600x600mm，1200x1200mm等）的风机和过滤器（高效过滤器、超高效过滤器）的组合体做为洁净室的终端设备，分散或集中地布置在洁净厂房的吊顶上。为了保证洁净厂房的室内参数，它经常与干冷盘管和新风机组配合使用。

　　FFU示意图如下

　　FFU就其性能而言，又可分为

　　标准型

　　和

　　高静压型

　　。

　　标准型机组的机外静压为50Pa，高静压型机组的机外静压为120Pa。

　　对于高静压型其机组的性能参数*好是：

　　a、断面平均风速为0.45m/s，而出风速度的均匀性应为平均风速的±15%。

　　b、FFU的机外余压应≥120Pa，*好是140Pa以上。

　　c、FFU的单体噪声应≤50dB(A)。因在单向流洁净厂房中往往成百台上千台的FFU集中设在吊顶上，如果单体噪声太高，则叠加噪声就不能被接受。

　　d、断面风速可调。智能化调节，变频调节都是可行的。

　　e、FFU风机的寿命*少应大于小时。

　　对于大面积、高洁净度的微电子和光电子的净化厂房，使用大量的FFU时应注意，有可能会产生电流的谐波。谐波会影响用电的生产设备的使用。建议在供电线路上增设滤波器。

　　干冷盘管

　　干冷盘管是新风机组加干冷盘管加FFU空调净化送风方案的洁净厂房控制温度的关键换热设备，设置在洁净厂房回风夹道的下部或上部。

　　对其性能要求如下：

　　a、 为了避免在系统正常运行时干冷盘管产生结露现象，因此通过干冷盘管的进水水温要高于室内空气露点1°C~2°C。

　　b、 为了导走洁净厂房空调系统启动时产生的冷凝水，干冷盘管系统还要设置滴水盘和排水系统。

　　c、干冷盘管的排数*好为双排，而且空气通过时阻力不能太大，一般来说干冷盘管的空气通过时阻力应小于40Pa，因此盘管铝翅片的间距*好为3mm。

　　d、为了减少空气通过盘管的阻力，通过盘管的风速应<2m/s。

　　e、干冷盘管的水管采用并联方式联接。

　　f、干冷盘管周围的空隙应全部封闭，使循环空气全部通过干冷盘管。

　　某电子厂房净化空调安装经验

　　空调形式选择

　　以某电子厂房为例。该工程厂房为单层钢结构，总建筑面积约14?500?m2?净化空调面积6?880?m2(不含参观走廊及辅助区)。

　　根据工艺要求，洁净区洁净度分别为万级、千级、百级，百级面积270?m2，千级面积?5?960?m2，万级面积650?m2温湿度要求为22士2?度和55%士5%,百级按照?面风速0.25m/s计算风量，千级和万级的换气次数则为80次/h和35次/h。

　　整个厂房分为3种净化级别，分别为万级、千级、百级，万级区主要为镀膜机室，千级区有丝印车间、模组/贴膜车间、千级高架区、千级未高架区，百级有镀膜车间、丝网制作房。

　　其中，千级高架区、百级高架区、千级未高架区、百级未高架区均采用MAU?+?FFU?+?DC的空调形式，而丝印、模组、贴膜车间等千级区和镀膜机室等万级区则采用AHU+?FFU的空调形式。

　　MAj为新风机组，对新风实施了初效、中效、亚高效过滤，其功能段为新风、回风混合段、G4初效段、F8中效段、冷水盘管段、热水盘管段、电极加湿段、风机段、均流段、H10亚高效段、送风段。

　　DC为干表冷盘管，在洁净室的回风夹墙中设置干冷盘管，对洁净室进行等湿降温，所以通过干盘管的冷冻水温度稍低于洁净室的露点温度，保证洁净室空气通过干盘管时不结露。

　　FFU为风机过滤器机组，在洁净室的技术夹层布置?FFU?将送进来的空气通过FFU中的高效过滤器送到洁净室内。

　　AHU为净化空调机组，全部的净化空调送风均在净化空调机组内进行净化和热、湿处理，然后送至洁净室，洁净室的回风经回风日、回风管再接回到空调机房的净化空调机组，与新风混合后重复进行净化和热、湿处理。

　　MAU+FFU+DC的净化空调送风方案

　　新风机组MAU将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度95%线的交点以下，不仅将本身的湿负荷去掉，还负担洁净室内产生的湿负荷。

　　而MAj热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室下夹层或吊顶上的干盘管来补充。

　　由于干盘管设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内，因此，干盘管所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。

　　此方案中，洁净室的相对湿度由MAU来保证，洁净室的温度由DC来保证，洁净室的洁净度由FFU来保证。

　　AHU+FFU的净化空调送风方案

　　此方案中，净化空调系统的热、湿负荷(洁净室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷)全部由设在空调机房内的空调机组AHU来负担。

　　AHU的送风量是消除本系统余热、余湿的空调送风量(其中包括全部新风和部分回风，但远远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量)，它应能确保洁净室内的温度和相对湿度恒定。

　　而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的FFU来保证。

　　此方案中应该注意的是，FFU运行过程中所产生的热量也应由AHU来承担。

　　自动控制系统

　　本期工程

　　采用DDC控制系统，并且与机房总站连接，可以实现局部调控和机房总站对运行状态的控制和观测。

　　洁净室中的干冷盘管共分为巧组，每一组采用一个比例积分阀控制，每组所对应的区域温度采用多点检测，采集多点的温度，取平均PID值控制比例积分的开启度，调节室内温度。

　　湿度也采用多点检测控制，采集多点的湿度，取平均的PID值来控制新风机组或空调机组冷冻水电动比例积分阀的开启度，或者控制电极加湿阀门的开启度，从而将洁净室的湿度控制在设计范围内。

　　新风机组和空调机组采用变频控制，根据洁净室实际使用情况，通过电动风阀的开与关，检测风管内的压力参数，控制风机转速，调整新风量，达到节约能源的目的。

　　来源：cleanroom、洁净技术与应用、精亚洁净工程

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